ASML可能面向中国市场推出特别版DUV光刻机

来源:DoNews快讯 | 2023-07-06 16:43:09


(资料图片)

据报道,ASML试图规避荷兰新销售许可禁令,面向中国市场推出特别版DUV光刻机。消息称,如果该项目继续推进,中芯国际、华虹等中国半导体企业可以继续使用荷兰的设备生产28纳米及更成熟工艺的芯片。消息称该特别版DUV光刻机基于TwinscanNXT:1980Di光刻系统改造,而1980Di是10年前推出的旧型号,不在本次官方禁令范围内。(格隆汇)

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